材料:微晶玻璃、熔融石英
1)精密毛細孔加工
Ø 毛細孔最小直徑:φ2(深度60)、φ3.5(深度150)
Ø 孔徑公差:±0.05
Ø 孔位置度公差:±0.02
Ø 孔共面度:0.02
Ø 孔與孔的(of)角度公差:1′
Ø 微晶材料可通過化學抛光工藝提升孔壁質量
2)精密光學加工
Ø 疵病等級 :10-20
Ø 面形: λ/10
Ø 角度精度:±3"
Ø 尺寸公差±0.03